半导体设备ETF（159516.SZ）单日大涨5.05%，规模超257亿领跑行业

5月19日，国泰半导体设备ETF（159516.SZ）强势收涨5.05%，报1.269元，同步跟踪的中证半导体材料设备指数单日涨幅达5.17%，走势高度贴合。

据红色火箭数据显示，该ETF当日成交量达3062.89万手，换手率15.10%，量比1.33，市场交易情绪活跃；场内价格较净值1.2028元的溢折率为0.31%，整体处于合理区间。截至当前，产品规模已达257.34亿元，是市场上规模领先的半导体设备主题ETF之一。

当前晶圆扩产持续发力，上游产业红利释放。拉长周期看，该指数近1年涨幅高达149.69%，场外联接C产品成立以来收益亦达138.59%。

图片数据来源：红色火箭

平安证券表示，人工智能拉动下晶圆代工行业向好，国内逻辑、存储晶圆产能紧俏，扩产空间可观。中微半导体刻蚀设备进入台积电先进制程供应链，无水氢氟酸供需趋紧、价格有望上行，三星推进劳资谈判保障存储芯片供给，晶圆厂扩产将持续拉动设备、材料需求。

据SEMI报告，2025年全球半导体材料市场销售额同比增6.8%至732亿美元历史新高，晶圆制造材料（光刻相关、湿化学品双位数增长）和封装材料（基板、键合线引领增长）均实现增长；晶圆代工产能瓶颈缓解后，将激发国内AI算力及存力芯片市场潜力。